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混合气体

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氮气(N₂) + 氢气(H₂) 是一种常见的工业混合气体,广泛应用于化工、金属处理、电子制造等领域。以下是关于这种混合气体的详细介绍:


1. 典型混合比例

  • 常见比例范围

    • N₂(70%~99%) + H₂(1%~30%)

    • 具体比例取决于应用需求,例如:

      • 95% N₂ + 5% H₂:用于不锈钢退火保护气。

      • 75% N₂ + 25% H₂:用于某些还原性气氛热处理。

      • 90% N₂ + 10% H₂:用于半导体制造中的还原环境。


2. 主要应用

(1)金属热处理(退火、钎焊、烧结)

  • 作用

    • N₂:提供惰性保护,防止金属氧化。

    • H₂:还原金属表面氧化物,提高表面光洁度。

  • 适用材料:不锈钢、铜合金、特种钢等。

(2)半导体与电子工业

  • 用途

    • 化学气相沉积(CVD):如氮化硅(Si₃N₄)薄膜生长。

    • 还原性环境:在高温工艺中去除氧杂质。

(3)化工与合成氨

  • 氨(NH₃)合成前驱体:N₂ + 3H₂ → 2NH₃(需催化剂)。

  • 氢化反应:如石油精炼中的加氢处理。

(4)食品包装(低比例H₂)

  • 保鲜气调:N₂为主,少量H₂可抑制某些微生物生长(需严格控制比例)。


3. 混合气体的优势

  • 还原性强:H₂能有效去除金属或半导体表面的氧化物。

  • 成本较低:相比纯氢气或氩氢混合气,N₂+H₂更经济。

  • 安全性提升:N₂稀释H₂,降低爆炸风险(H₂爆炸极限4%~75%)。


4. 注意事项

  • 氢气安全

    • H₂易燃易爆,需确保混合比例在安全范围(通常H₂<30%)。

    • 使用前需检漏,避免在密闭空间积累。

  • 气体纯度

    • 电子级应用需高纯N₂(≥99.999%)和H₂(≥99.999%)。

    • 工业级可稍低(N₂≥99.9%,H₂≥99.5%)。

  • 替代方案

    • 高还原性需求可用 Ar + H₂(更惰性,但成本高)。


5. 类似混合气体

  • N₂ + H₂ + CO:用于某些特殊热处理(如渗碳)。

  • N₂ + H₂ + NH₃:用于可控氮化处理(表面硬化)。

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