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电子特气国产化取得重大突破

发布时间：2025-06-22　人气：

中芯国际与国内气体供应商联合宣布，28纳米制程所需的电子级三氟化氮（NF3）实现规模化量产，纯度达到6N级（99.9999%），关键指标媲美进口产品。这是我国在半导体材料领域取得的又一重要突破。

据悉，该项目历时三年研发，总投资2.5亿元。目前产品已通过长江存储、华虹半导体等企业认证，开始批量供货。行业专家指出，电子特气国产化率已从2018年的不足10%提升至目前的25%，但高端产品仍依赖进口，需要持续加大研发投入。

标签：电子,特气,国产化,取得,重大,突破,中芯,国际,

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