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高纯氦气保障半导体晶圆冷却稳定性

发布时间：2025-06-22　人气：

客户背景：国内某半导体制造厂，生产28nm制程芯片。

需求痛点：芯片蚀刻过程中，传统冷却气体纯度不足导致设备温度波动，良品率下降。

解决方案：

供应99.9999%高纯氦气，用于激光切割和反应腔冷却。

建立闭环气体回收系统，减少氦气浪费（回收率超80%）。

效果：

晶圆良品率从92%提升至97%。

年降低气体采购成本300万元。

关键词：特种气体、半导体制造、纯度控制。

标签：应用,案例,机械,英文名称,machinery,是指,机器,

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