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电子制造

超高纯电子气体制程良率突破

发布时间：2025-06-26　人气：

客户名称：XX芯片制造（12英寸晶圆厂）

挑战：

28nm芯片蚀刻工艺中，气体杂质导致线路缺陷；

海外气体供应商交货周期长（8周+）。

解决方案：

本地化供应99.99999%超高纯氮气/氩气，含氧量＜0.1ppm；

部署AI气体纯度监控平台，实时预警颗粒物污染。

成果：

标签：超高纯电子气体制程良率突破

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