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特种气体保障半导体芯片制造

发布时间：2025-06-24　人气：

国内领先的半导体fab厂，生产14nm制程芯片，对气体纯度和稳定性要求极高。

需求：确保蚀刻、沉积工艺中特种气体（如六氟化钨、硅烷）零污染。

解决方案：

建立超高纯气体管道输送系统（纯度≥99.9999%），配备在线监测仪实时检测杂质；

提供氦气作为载气，减少晶圆加工中的热应力。

效果：

芯片良品率从92%提升至97%；

气体供应故障率降至0.001%。

标签：特种气体保障半导体芯片制造

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